SRM 2135c Ni/Cr薄膜深度剖面標(biāo)準(zhǔn)品NIST主要用于校準(zhǔn)表面分析中的濺射深度標(biāo)度和腐蝕速率。其周期性結(jié)構(gòu)由八個(gè)定義明確的金屬/金屬界面組成，可用于在多個(gè)深度獲得精確校準(zhǔn)。 SRM 2135c 已通過總鉻 (Cr) 和鎳 (Ni) 厚度、單元素層間均勻性、Ni 和 Cr 雙層均勻性（周期性）和單層厚度 [1-3] 的認(rèn)證。以質(zhì)量/面積為單位表示的認(rèn)證厚度值在題為“認(rèn)證值和不確定性"的部分中給出。

SRM 2135c Ni/Cr薄膜深度剖面標(biāo)準(zhǔn)品NIST 的一個(gè)單元由拋光的硅 (100) 基板上的九個(gè)交替金屬薄膜層、五層純鉻和四層純鎳組成。各個(gè)層的厚度通常為 57 nm（Cr 為 57 nm，Ni 為 56 nm）。經(jīng)認(rèn)證的樣品面積由基材的全寬（1.0 厘米）和以 2.54 厘米長(zhǎng)的基材為中心的 2.0 厘米長(zhǎng)度確定（見圖 l）。

認(rèn)證到期：

如果按照本證書中提供的說(shuō)明處理、存儲(chǔ)和使用 SRM，則本 SRM 的認(rèn)證在規(guī)定的測(cè)量不確定度內(nèi)被視為是無(wú)限期的。但是，如果 SRM 被更改、污染或損壞，認(rèn)證將失效。